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作者: | 2022-08-29
碳化硅晶體生長工藝

       純碳化硅是無色透明的晶體。工業碳化硅因所含雜質的種類和含量不同,而呈淺黃、綠、藍乃至黑色,透明度隨其純度不同而異。中國工業生產的碳化硅分為黑色碳化硅和綠色碳化硅兩種,均為六方晶體,比重為3.20~3.25,顯微硬度為2840~3320kg/mm2。

       碳化硅晶體生長工藝  純碳化硅是無色透明的晶體。工業碳化硅因所含雜質的種類和含量不同,而呈淺黃、綠、藍乃至黑色,透明度隨其純度不同而異。中國工業生產的碳化硅分為黑色碳化硅和綠色碳化硅兩種,均為六方晶體,比重為3.20~3.25,顯微硬度為2840~3320kg/mm2。

       碳化硅晶體結構分為六方或菱面體的α-SiC和立方體的β-SiC(稱立方碳化硅)。α-SiC由于其晶體結構中碳和硅原子的堆垛序列不同而構成許多不同變體,已發現70余種。β-SiC于2100℃以上時轉變為α-SiC。碳化硅的工業制法是用優質石英砂和石油焦在電阻爐內煉制。煉得的碳化硅塊,經破碎、酸堿洗、磁選和篩分或水選而制成各種粒度的產品。

       SiC作為C和Si穩定的化合物,其晶格結構由致密排列的兩個亞晶格組成,每個Si(或C)原子與周邊包圍的C(Si)原子通過定向的強四面體sp3鍵結合,雖然SiC的四面體鍵很強,但層錯形成能量卻很低,這一特點決定了SiC的多型體現象,已經發現SiC具有250多種多型體,每種多型體的C/Si雙原子層的堆垛次序不同。

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